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一、實驗室概況：

　　本實驗室旨在薄膜材料領(lǐng)域，建設(shè)國內(nèi)首家功能薄膜材料物理性能檢測技術(shù)研究基地，助推功能薄膜材料的研究與發(fā)展，為湖北省乃至整個國家的產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級提供保障平臺，尤其是工業(yè)時代向信息時代的轉(zhuǎn)型升級。

　　湖北省工程實驗室主要包括以下幾個實驗室：

　　1、薄膜材料熱分析實驗室

　　2、薄膜材料樣品制備與加工實驗室

　　3、薄膜材料電磁分析實驗室

　　4、薄膜材料力學(xué)分析實驗室

　　5、薄膜材料光學(xué)分析實驗室

二、實驗室情況簡介

　　（1）薄膜材料熱分析實驗室

　　材料熱物性是對特定熱過程進(jìn)行基礎(chǔ)研究、分析計算和工程設(shè)計的關(guān)鍵參數(shù)，是材料最基本的性能之一，在科學(xué)研究、工程設(shè)計、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域應(yīng)用十分廣泛，也是各行業(yè)節(jié)能技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)。

　　薄膜材料熱物性分析測試實驗室是對薄膜材料熱物性的重要特征參量，如：熱導(dǎo)系數(shù)、熱擴(kuò)散率、比熱容、熱膨脹系數(shù)、發(fā)射率、熱流密度等進(jìn)行測量。評價薄膜材料的相變特性，熱穩(wěn)定性，滿足納米科技、微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）、低維材料、納米生物醫(yī)藥等領(lǐng)域高新技術(shù)迅猛發(fā)展的需要。

　　（2）薄膜材料樣品制備與加工實驗室

　　實驗室為薄膜材料性能檢測提供制樣準(zhǔn)備，以滿足其他性能檢測實驗室儀器的檢測需要。實驗室擁有薄膜制備儀器：磁控濺射鍍膜儀、離子束濺射鍍膜系統(tǒng)?？梢灾苽涓鞣N薄膜：陶瓷氧化物、氮化物膜、金屬多層膜，以及各種超晶格；同時，可合成納米管、納米粉末，以及量子點。精密切割機(jī)、研磨拋光機(jī)、光刻機(jī)對塊體和薄膜樣品表面進(jìn)行微加工處理，滿足不同的測樣要求。

　　（3）薄膜材料電磁性能測試實驗室

　　薄膜材料電學(xué)、磁學(xué)性能測試實驗室主要是為了滿足薄膜材料磁學(xué)性能、電學(xué)性能及微觀測試。測量參數(shù)有：電阻率、載流子濃度、遷移率、磁矩、電滯回線等。實驗室主要配備：薄膜變溫電阻測試儀、霍爾效應(yīng)測試儀、鐵電分析儀、綜合物性測量系統(tǒng)、磁學(xué)測試系統(tǒng)等。

　　（4）薄膜材料力學(xué)性能測試實驗室

　　薄膜材料被廣泛應(yīng)用于微機(jī)械系統(tǒng)的設(shè)計中。微機(jī)械系統(tǒng)的設(shè)計和選材受到加工工藝的限制，大量采用薄膜材料。薄膜材料的力學(xué)特性，如彈性模量、殘余應(yīng)力、泊松比、斷裂強(qiáng)度、疲勞強(qiáng)度等，是決定MEMS 元件性能的重要參數(shù)，是微機(jī)械設(shè)計中不可缺少的數(shù)據(jù)。薄膜材料與塊狀材料的力學(xué)特性與性能可能不同，這是由于存在較強(qiáng)的尺寸效應(yīng)，薄膜材料的力學(xué)特性與成膜裝置、成膜條件及熱處理等條件有密切關(guān)系，而且微構(gòu)件的力學(xué)特性還難以用常規(guī)的方法測試，存在著很多困難。

　　薄膜材料力學(xué)性能測試實驗室主要關(guān)注薄膜材料的硬度、彈性模量、應(yīng)力、熱應(yīng)力、表面粗糙度、臺階高度、吸附力等參數(shù)。實驗室擁有的儀器有：X射線殘余應(yīng)力分析儀、薄膜熱應(yīng)力測試系統(tǒng)、探針式輪廓儀、納米劃痕測試儀、納米壓痕測試儀、固體表面ZETA電位分析儀等。

　　（5）薄膜材料光學(xué)性能測試實驗室

　　光學(xué)薄膜是綜合性非常強(qiáng)的工程技術(shù)科學(xué)的產(chǎn)物。如今，可以毫不夸張地說，人們的生活離不開光學(xué)薄膜的應(yīng)用，無論是在高新技術(shù)領(lǐng)域中的精密儀器、顯示器、薄膜太陽能電池的研發(fā)還是日常生活當(dāng)中使用的視聽設(shè)備、數(shù)碼產(chǎn)品、眼鏡等，光學(xué)薄膜材料都得到廣泛的應(yīng)用。因此，材料的光學(xué)特性和光學(xué)常數(shù)的測定在制備高性能光學(xué)薄膜器件中具有十分重要的地位。