在半導(dǎo)體材料研發(fā)與性能驗(yàn)證的賽道上，低溫環(huán)境下的高阻電學(xué)測試是核心環(huán)節(jié)之一。精準(zhǔn)捕捉材料在寬溫區(qū)范圍內(nèi)的電阻、電導(dǎo)率等關(guān)鍵參數(shù)，直接關(guān)系到芯片、半導(dǎo)體器件的性能優(yōu)化與可靠性提升。我們依托自主研發(fā)的冷熱臺，打造半導(dǎo)體材料低溫高阻電學(xué)測試一體化解決方案，為行業(yè)創(chuàng)新提供硬核技術(shù)支撐。

技術(shù)優(yōu)勢

1. 精準(zhǔn)控溫，高效穩(wěn)定

冷熱臺通過液氮與加熱棒協(xié)同作用，實(shí)現(xiàn)78K（液氮溫度）至室溫（RT）的寬溫區(qū)覆蓋，滿足低溫、變溫測試全場景需求。其控溫精度高達(dá)±0.5K，平均升溫速率≥20K/min，室溫降至78K僅需15分鐘，大幅縮短測試周期。

2. 多維適配，場景靈活

設(shè)備極限真空度＜10Pa，配備1路氣體吹掃氣氛接口，可靈活切換真空或特定氣氛環(huán)境，有效屏蔽電場干擾。搭載4個BNC接口，能與Keithley6517B等高阻計(jì)無縫聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)電阻、電壓、電流、電導(dǎo)率多參數(shù)同步測量。同時支持定制化樣品臺與夾具，適配不同類型半導(dǎo)體材料，兼容低溫變溫霍爾測試、低溫 I-V 測試、綜合物性測試等多元場景。

3. 智能便捷，操作友好

一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)集成熱電偶電極、加熱電極、真空接口、觀察窗等核心部件，布局清晰直觀。探針座搭配彈簧加壓探針，既能保證樣品與探針穩(wěn)定接觸，又能避免樣品損傷。全程軟件控制，自動化程度高，減少人為操作誤差，提升測試重復(fù)性，降低使用門檻。

高阻計(jì)聯(lián)用

高阻計(jì)作為核心測量儀器，具備多參數(shù)測量、高精度、高靈敏度、低噪聲等優(yōu)勢。其采用四端測量技術(shù)，能精準(zhǔn)捕捉高阻材料的微弱信號。冷熱臺與高阻計(jì)聯(lián)用后，可在低溫環(huán)境和電場屏蔽條件下，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體材料電學(xué)性能的精準(zhǔn)測試，廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究、材料測試、電子元器件生產(chǎn)、質(zhì)量控制等領(lǐng)域。

某半導(dǎo)體企業(yè)采用冷熱臺與Keithley 6517B 高阻計(jì)聯(lián)用方案，開展不同溫度下半導(dǎo)體材料的電學(xué)性能測試。在320K-440K溫度區(qū)間內(nèi)，成功捕捉材料電阻變化精準(zhǔn)曲線，數(shù)據(jù)波動幅度＜1%；借助高真空環(huán)境與電場屏蔽設(shè)計(jì)，檢測靈敏度達(dá)1fA級別，有效降低外界干擾；測試周期較傳統(tǒng)設(shè)備縮短 40%，大幅提升批量檢測效率，為企業(yè)研發(fā)加速提供有力支持。

武漢光谷薄膜冷熱臺憑借硬核技術(shù)實(shí)力，已成為科研院校與半導(dǎo)體企業(yè)的得力助手。未來，公司將持續(xù)深耕技術(shù)創(chuàng)新，迭代優(yōu)化產(chǎn)品，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入更多科創(chuàng)力量。