探針臺其組成部分可以按照不同的功能模塊來劃分，下面是探針臺的主要組成部分：

探針臺臺體：這是探針臺的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)，提供一個穩(wěn)定的平臺來承載其他組件，并且通常包含有用于固定晶圓或芯片的夾具；

探針卡或探針座：探針卡是帶有多個微小探針的載體，探針會接觸芯片上的測試點；

探針頭：包括探針臂和探針針尖，針尖直徑極小，可以達到微米甚至納米級別，用于直接接觸芯片的測試點；

卡盤（樣品臺）：用于放置和固定晶圓的平臺，可以通過X、Y、Z軸和旋轉(zhuǎn)調(diào)整位置；

顯微鏡系統(tǒng)：用于對準和視覺檢查，幫助操作者觀察探針與芯片的接觸情況，通常配備有高分辨率的CCD攝像頭；

控制系統(tǒng)：包括微定位器和運動控制系統(tǒng)，用于精確調(diào)整探針和樣品的位置，確保探針準確地接觸芯片的指定位置；

電氣系統(tǒng)（源表）：測試源表是提供測試信號并測量返回信號的設(shè)備；

測試軟件：軟件控制系統(tǒng)用于自動化測試流程，包括晶圓映射、測試程序設(shè)定、數(shù)據(jù)采集和分析；

其它（如果配置）：機械手、真空系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、氣路控制等；