探針臺(tái)其組成部分可以按照不同的功能模塊來劃分?下面是探針臺(tái)的主要組成部分?

探針臺(tái)臺(tái)體￤這是探針臺(tái)的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)，提供一個(gè)穩(wěn)定的平臺(tái)來承載其 他組件，并且通常包含有用于固定晶圓或芯片的夾具 ?

探針卡或探針座￤探針卡是帶有多個(gè)微小探針的載體，探針會(huì)接觸芯 片上的測試點(diǎn)?

探針頭￤包括探針臂和探針針尖，針尖直徑極小，可以達(dá)到微米甚至 納米級(jí)別，用于直接接觸芯片的測試點(diǎn) ?

卡盤（樣品臺(tái)）￤用于放置和固定晶圓的平臺(tái)，可以通過X?Y?Z軸 和旋轉(zhuǎn)調(diào)整位置?

顯微鏡系統(tǒng)￤用于對準(zhǔn)和視覺檢查，幫助操作者觀察探針與芯片的接 觸情況，通常配備有高分辨率的CCD攝像頭 ?

控制系統(tǒng)￤包括微定位器和運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，用于精確調(diào)整探針和樣品 的位置，確保探針準(zhǔn)確地接觸芯片的指定位置 ?

電氣系統(tǒng)（源表）￤測試源表是提供測試信號(hào)并測量返回信號(hào)的設(shè)備 ?

測試軟件￤軟件控制系統(tǒng)用于自動(dòng)化測試流程，包括晶圓映射?測試 程序設(shè)定?數(shù)據(jù)采集和分析?

其它（如果配置）￤機(jī)械手?真空系統(tǒng)?溫度控制系統(tǒng)?氣路控制等?