光谷薄膜探針臺 HCP系列采用精密的機械結(jié)構(gòu)?高性能的探針以及穩(wěn)定的溫度?真空控制系統(tǒng)?為樣品測量電特性提供高精度可控測量環(huán)境?其核心參數(shù)包括￤

- 溫度范圍￤-190~400°C

- 控溫精度￤±0.1°C

- 最大升溫速率￤80°C/min

- 最大降溫速率￤50°C/min

該探針臺可實現(xiàn)精準可靠的測試與測量分析?幫助精準測量和分析判斷晶圓器件的性能?包括提供材料/器件的IV/CV特性測試?LD/LED/PD的光強/波長測試?射頻特性器件失效分析?芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試等技術解決方案?它可以應用于集成電路?功率器件類晶圓的高低溫測試?高壓測試?大電流測試?壞點重測?WAT測試?射頻測試等領域?

以下是一些客戶案例￤

- 基礎測試

- 高低溫真空探針臺

- 保護氣氛電路測壇

- 超高頻探針臺